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超純水氮封裝置

超純水氮封裝置

簡(jiǎn)要描述:
EDI超純水氮封裝置包括純水箱,氮?dú)膺M(jìn)氣管及補(bǔ)水管,所述純水箱還通過(guò)水箱溢流管與水封桶的水箱連接管相連,還設(shè)置有進(jìn)水閥和液位計(jì),其通過(guò)液位傳感器與純水箱外部的液位控制器相連接,達(dá)到節(jié)約氮?dú)庀牧康哪康模?/div>

更新時(shí)間:2021-06-01

訪(fǎng)問(wèn)量:2227

廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家

生產(chǎn)地址:SH

品牌申弘加工定制
連接形式法蘭材質(zhì)碳鋼,不銹鋼,黃銅,鑄鐵,鑄銅,球墨鑄鐵,合金鋼,銅合金,塑料,陶瓷,PPR,PVC,襯氟,銅
適用介質(zhì)水,蒸汽,油品,各種高腐蝕化學(xué)介質(zhì),弱酸堿介質(zhì),氨氣,氮?dú)?氧氣,氫氣,液化氣,空氣,煤氣,含塵氣體壓力環(huán)境常壓
工作溫度常溫流動(dòng)方向單向
驅(qū)動(dòng)方式手動(dòng)零部件及配件閥桿
形態(tài)隔膜式類(lèi)型直通式
密封形式軟密封式公稱(chēng)通徑15-800mm

EDI超純水氮封裝置產(chǎn)品說(shuō)明

 本實(shí)用新型屬于超純水氮封裝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)。在范圍內(nèi),新材料不斷研發(fā)和進(jìn)步,對(duì)水的需求越來(lái)越高,同時(shí),水資源日趨匱乏也是企業(yè)所面臨的現(xiàn)狀,因此,水技術(shù)市場(chǎng)的發(fā)展前景是*的。純水和超純水的生產(chǎn)便是其中非常重要的組成部分。在電子半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)工序中需要用到大量的超純水進(jìn)行沖洗,edi系統(tǒng)制取出的超純水需要進(jìn)行封存,不能與空氣接觸,否則空氣中的co2、o2和雜質(zhì)會(huì)因接觸水體而影響水質(zhì)。

特點(diǎn):  

1、無(wú)需外加能源,能在無(wú)電、無(wú)氣的場(chǎng)合工作,既方便,又節(jié)約能源,降低成本.   

2、氮封裝置供氮、泄氮壓力設(shè)定方便,可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行.   

3、壓力檢測(cè)膜片有效面積大,設(shè)定彈簧剛度小,動(dòng)作靈敏,裝置工作平穩(wěn).   

4、采用無(wú)填料設(shè)計(jì),閥桿所受摩擦力小,反應(yīng)迅速,控制精度高.

5、供氮裝置采用指揮器操作,減壓比可達(dá)100:1,減壓效果好,控制精度高.


一種純水系統(tǒng)的氮?dú)夤?jié)能裝置,包括純水箱,氮?dú)膺M(jìn)氣管及補(bǔ)水管,所述純水箱還通過(guò)水箱溢流管與水封桶的水箱連接管相連,還設(shè)置有進(jìn)水閥和液位計(jì),其通過(guò)液位傳感器與純水箱外部的液位控制器相連接,達(dá)到節(jié)約氮?dú)庀牧康哪康?;授?quán)公告號(hào)一種氮封水箱,通過(guò)在純水水箱中設(shè)置的氮封閥等氮封系統(tǒng),使水箱內(nèi)氮?dú)獾臍庀嗫臻g壓力維持在2.5kpa左右,當(dāng)氣相空間壓力高于2.5kpa時(shí),氮封閥關(guān)閉,停止氮?dú)夤?yīng);當(dāng)氣相空間壓力低于2.5kpa時(shí),氮封閥開(kāi)啟,開(kāi)始補(bǔ)充氮?dú)?,保證水箱在正常運(yùn)行過(guò)程中不吸進(jìn)空氣,防止空氣中的塵埃、co2等污染物進(jìn)入di水(去離子水)中形成二次污染;一種純水系統(tǒng)的氮?dú)夤?jié)能裝置,采用空氣減壓閥、電磁閥的設(shè)置,通過(guò)微調(diào)壓力表,用來(lái)檢測(cè)氮封水箱中的氮?dú)鈮毫?,根?jù)氮封水箱氮?dú)鈮毫刂疲{(diào)節(jié)氮?dú)廨敵觥?/p>

空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),故一旦超純水與空氣接觸,就會(huì)使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ.cm左右,因此超純水的儲(chǔ)存容器應(yīng)避免水體與空氣的接觸。

常見(jiàn)處理超純水與空氣接觸的方法:

充氮法:

即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?,阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。

薄膜袋法:

即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。

浮頂法:

即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會(huì)。

在上述三種方法中又以氮封水箱見(jiàn)。

氮封水箱的工作原理:

超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi),水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa,氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2 等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成,而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成,當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí),快速泄放閥迅速開(kāi)啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),開(kāi)啟閥門(mén),向罐內(nèi)充注氮?dú)狻R蛭赫{(diào)節(jié)閥必須使用壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定,從0.5Kpa至60Kpa以下。

☆微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值如:3Kpa;

☆泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值,如:8Kpa;

☆具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。

☆N2 的純度為99.995%以上。

EDI超純水氮封裝置技術(shù)參數(shù)和性能

閥體

公  稱(chēng)  通  徑  DN25、32、40、50、65、80、100mm
公  稱(chēng)  壓  力  PN1.0M Pa JB/T79.1-94、79.2-94等
法  蘭  標(biāo)  準(zhǔn)  
閥 體  材  料  鑄鐵(HT200)、鑄鋼(ZG230-450)、鑄不銹鋼(ZG 1Cr18Ni9Ti、ZG1Cr18Ni12Mo2Ti)
  閥芯材料硬 密  封  不銹鋼(1Cr18Ni9Ti、1Cr18Ni12Mo2Ti) 不銹鋼鑲嵌橡膠圈
軟 密  封  
閥  桿  材  料  不銹鋼(1Cr18Ni9Ti、1Cr18Ni12Mo2Ti)
流 量  特  性   
使  用  溫 度  

執(zhí)行器

壓力設(shè)定范圍(KPa)0.4~0.5 5~10 9~14 13~19 18~24 22~28 27~33
36~44 42~51 49~58 56~66
膜蓋材料A3、A4鋼板涂四氟乙烯
膜片材料丁晴橡膠、乙炳橡膠、氟橡膠、耐油橡膠

性能

設(shè)定值偏差±5%允許泄露量
允許泄露量標(biāo)準(zhǔn)型IV級(jí)(符合GB/T4312-92標(biāo)準(zhǔn))
嚴(yán)密型VI級(jí)(符合GB/T4312-92標(biāo)準(zhǔn))

五、 額定流量系數(shù)、額定行程、性能

供氮裝置

公稱(chēng)通徑DN253240506580100
閥座通徑Dn5678101215202532405065120100
流量系數(shù)Kv0.20.320.50.81.82.84.46.91120304875120190
額定行程L810142025

泄氮裝置

公稱(chēng)通徑DN20253240506580100
閥座通徑Dn20253240506580100
流量系數(shù)Kv6.91120304875120190
額定行程L810142025

1 供氮裝置主要技術(shù)參數(shù)及性能指標(biāo)

公稱(chēng)通徑DN(mm)

25

32

40

50

65

80

100

閥座直徑dn(mm)

5

6

7

8

10

12

15

20

25

32

40

50

65

80

100

額定流量系數(shù)Kv

0.2

0.32

0.5

0.8

1.8

2.8

4.4

6.9

11

20

30

48

75

120

190

額定行程L(mm)

8

10

14

20

25

流量特性

快開(kāi)

壓力調(diào)節(jié)范圍(kPa)

0.4~5.5、5~10、9~14、13~19、18~24、22~28
27~33、31~38、36~44、42~51、49~58、56~66

公稱(chēng)壓力PN(MPa)

1.6  2.5  4.0

被調(diào)介質(zhì)溫度(℃)

≤80

調(diào)節(jié)精度(%)

±5%

允許泄漏等級(jí)

標(biāo)準(zhǔn)級(jí):Ⅳ級(jí)(GB/T4213-92)  嚴(yán)密型:Ⅵ級(jí)(GB/T4213-92)

 

2泄氨裝置主要技術(shù)參數(shù)及性能指標(biāo)

公稱(chēng)通徑DN(mm)

20

25

32

40

50

65

80

100

額定流量系數(shù)Kv

6.9

11

30

30

48

75

80

190

額定行程L(mm)

8

10

14

20

25

流量特性

快開(kāi)

壓力調(diào)節(jié)范圍(kPa)

0.4~5.5、5~10、9~14、13~19、18~24、22~28
27~33、31~38、36~44、42~51、49~58、56~66

公稱(chēng)壓力PN(MPa)

0.1

被調(diào)介質(zhì)溫度(℃)

≤80

調(diào)節(jié)精度(%)

±5%

允許泄漏等級(jí)

標(biāo)準(zhǔn)級(jí):Ⅳ級(jí)(GB/T4213-92)  嚴(yán)密型:Ⅵ級(jí)(GB/T4213-92)

 外形尺寸及重量

1供氮裝置外形尺寸及重量

公稱(chēng)通徑DN(mm)253240506580100
L160180200230290310350
A308308308308394394394
H2415415415415415415415
H16075808595105120
H720730730750790840890
重量(kg)3235405090115280

2泄氮裝置外形尺寸及重量

公稱(chēng)通徑DN(mm)253240506580100
L160180200230290310350
A308308308308394394394
H16075808595105120
H380400420430550560570
重量(kg)12131517202838

所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)通過(guò)控制器相聯(lián)鎖,所述控制器可以為單片機(jī),其一個(gè)控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連,另一個(gè)控制端與所述液位傳感器相連,當(dāng)所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)升高時(shí),所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度增大(流向副容器的流量減?。?dāng)所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)降低時(shí),所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度減小(流向副容器的流量增大)。


實(shí)際運(yùn)行過(guò)程中氮封水箱可能會(huì)不起作用,這需要我們分析故障原因,一般而言泄放閥與微壓調(diào)節(jié)閥不動(dòng)作是主要的原因。針對(duì)上述問(wèn)題,本實(shí)用新型提供一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng),用于edi系統(tǒng)制取的超純水的封存,通過(guò)設(shè)置比例調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度與外供泵的流量聯(lián)鎖控制,可根據(jù)外供泵的流量大小,控制比例調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度,調(diào)節(jié)進(jìn)入氮封水箱的通道,最終達(dá)到一個(gè)氮封水箱液位恒定的目的,達(dá)到節(jié)省高純氮?dú)獾哪康摹?/p>


氮封裝置安裝事項(xiàng)

(1)安裝前,檢查整機(jī)零件是否缺損與松動(dòng),對(duì)管道應(yīng)進(jìn)行清洗,介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向*。

(2)為便于現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)與操作,閥四周應(yīng)留有適當(dāng)空間與設(shè)置旁路手動(dòng)閥,閥組安裝方案。

(3)閥門(mén)應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上,閥體與管道的法塵連接,要注意同軸度,并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過(guò)-25~55℃的場(chǎng)合使用。

 訂貨須知:

一、①產(chǎn)品名稱(chēng)與型號(hào)②口徑③是否帶附件以便我們的為您正確選型④使用壓力⑤使用介質(zhì)的溫度。
二、若已經(jīng)由設(shè)計(jì)單位選定公司的型號(hào),請(qǐng)型號(hào)直接向我司銷(xiāo)售部訂購(gòu)。

三、當(dāng)使用的場(chǎng)合非常重要或環(huán)境比較復(fù)雜時(shí),請(qǐng)您盡量提供設(shè)計(jì)圖紙和詳細(xì)參數(shù),由我們申弘閥門(mén)的技術(shù)為您審核把關(guān)。產(chǎn)品所屬調(diào)節(jié)閥系列,感謝您訪(fǎng)問(wèn)我們申弘閥門(mén)的如有任何疑問(wèn).您可以致電給我們,我們一定會(huì)盡心盡力為您提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。如需要了解更多其它閥類(lèi)產(chǎn)品的信息可以點(diǎn)擊減壓閥查看。

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